ta-C涂层设备

对于无氢类金刚石涂层（ta：C），采用基于脉冲阴极电弧的专利技术。在保证类似含氢类金刚石涂层的沉积速率下，有效避免了传统离子源的劣势。

PCS OPTIMA

技术参数

标准配置：脉冲电弧阴极+溅射+PA-CVD（微波）
有效涂层范围：D 710 H 1000
最大载荷重量：1000Kg
适用涂层体系：ta-C
涂层公益时间/批次：4小时
可选配置：HiPIMS, DC-ARC

说明书

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博世微波等离子涂层系统 — ta-C涂层设备

2024.05.30 | PDF 27.9 Mb